原位X-射线物质结构分析仪

　　主要技术指标：X射线发生器：最大输出功率：3kW，光管功率：2kW；最大管压：50kV；最大管流：60mA。测角仪：采用光学编码器技术；测角仪半径：185~285mm可调；转动范围：-110...

复旦大学先进材料实验室

磁控溅射系统

　　主要技术指标：真空度达1X10-6乇，衬底温度可达100度直流溅射电源功率1000瓦　　功能/应用范围：有2个DC溅射靶，可以在真空状态下溅射生成一类材料薄膜或多层不同薄膜，...

复旦大学材料科学系

双束聚焦离子束系统

　　主要技术指标：离子束：30kv分辨率7nm，加速电压2-30kv。电子束：钨灯丝电子枪　　功能/应用范围：材料微细加工及样品制备。　　主要测试和研究领域：材料/珠宝首饰电子/信息...

复旦大学材料科学系

溅射镀膜系统

　　主要技术指标：1)Chambersize:600*750*620mm2)Ultimatepressure:8.0*10-7mbar3)3*4"Magnetrons(2*DC&1*rf)4)Co-sputteringprocess5)targetdiameter:100mm...

复旦大学信息科学与工程学院