纸浆实验机

　　研究领域：生命科学(生物医学、医药）

湖北工业大学

电感耦合等离子体反应离子刻蚀机

主要技术指标蚀刻反应室抽气速率：真空度<5.0×10^-5Torr(15分钟内)；蚀刻反应室极限真空：8.0×10^-6Torr；装载室抽气速率：真空度<5.0×10^-2Torr(5分钟内)；蚀...

中山大学

通用电化学系统

主要技术指标满度电流量程：2A到200nA输出电压:>±30V参考电极输入阻抗：>10GΩ，电容50pF直流极化电压范围：±14.5V电流范围：±2A，最大分辨率100...

中山大学

微波等离子体化学气相沉积系统

主要技术指标功率发生器2kW，2.45GHz；质量流量计10,30,50sccm；系统真空度优于1.0×10-6Torr；保压12小时后真空度优于1.0×10-1Pa主要功能最大沉底加热温度900℃...

中山大学

原位X-射线物质结构分析仪

　　主要技术指标：X射线发生器：最大输出功率：3kW，光管功率：2kW；最大管压：50kV；最大管流：60mA。测角仪：采用光学编码器技术；测角仪半径：185~285mm可调；转动范围：-110...

复旦大学先进材料实验室

磁控溅射系统

　　主要技术指标：真空度达1X10-6乇，衬底温度可达100度直流溅射电源功率1000瓦　　功能/应用范围：有2个DC溅射靶，可以在真空状态下溅射生成一类材料薄膜或多层不同薄膜，...

复旦大学材料科学系

双束聚焦离子束系统

　　主要技术指标：离子束：30kv分辨率7nm，加速电压2-30kv。电子束：钨灯丝电子枪　　功能/应用范围：材料微细加工及样品制备。　　主要测试和研究领域：材料/珠宝首饰电子/信息...

复旦大学材料科学系

溅射镀膜系统

　　主要技术指标：1)Chambersize:600*750*620mm2)Ultimatepressure:8.0*10-7mbar3)3*4"Magnetrons(2*DC&1*rf)4)Co-sputteringprocess5)targetdiameter:100mm...

复旦大学信息科学与工程学院