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主要技术指标蚀刻反应室抽气速率：真空度<5.0×10^-5Torr(15分钟内)；蚀刻反应室极限真空：8.0×10^-6Torr；装载室抽气速率：真空度<5.0×10^-2Torr(5分钟内)；蚀...
广东广州市
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主要技术指标满度电流量程：2A到200nA输出电压:>±30V参考电极输入阻抗：>10GΩ，电容50pF直流极化电压范围：±14.5V电流范围：±2A，最大分辨率100...
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主要技术指标功率发生器2kW，2.45GHz；质量流量计10,30,50sccm；系统真空度优于1.0×10-6Torr；保压12小时后真空度优于1.0×10-1Pa主要功能最大沉底加热温度900℃...
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