检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：微波等离子体化学气相沉积系统
- 价格型号：MPECVD-R2.0
- 仪器分类：其他
- 应用领域：建筑建材;礼品 工艺品
- 所属单位：中山大学
- 所在地点：海珠区新港西路135号
- 产 地：
- 产 商：Woosin Cryo Vac Ltd.
- 价 值：0
- 购置日期：2012-04-23
主要技术指标
功率发生器2kW，2.45GHz；质量流量计10,30,50sccm；系统真空度优于1.0×10-6Torr；保压12小时后真空度优于1.0×10-1Pa
主要功能
最大沉底加热温度900℃负偏压电源电压1000V电流1000mA
技术特色
金刚石薄膜的制备以及一些新型材料的生长设计
主要测试或应用领域
材料/珠宝首饰,其他
