检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：电感耦合等离子体反应离子刻蚀机
- 价格型号：AST Cirie-200S
- 仪器分类：其他
- 应用领域：礼品 工艺品;电子元器件;冶金矿产
- 所属单位：中山大学
- 所在地点：海珠区新港西路135号
- 产 地：
- 产 商：台湾聚昌科技股份有限公司
- 价 值：0
- 购置日期：2010-07-29
主要技术指标
蚀刻反应室抽气速率：真空度<5.0×10^-5Torr(15分钟内)；蚀刻反应室极限真空：8.0×10^-6Torr；装载室抽气速率：真空度<5.0×10^-2Torr(5分钟内)；蚀刻速率>280nm/min；非均匀性≤±5%
主要功能
进行GaNg,GaAs,InP等材料的蚀刻
技术特色
真空环境下的半导体新材料制备
主要测试或应用领域
材料/珠宝首饰,电子/信息技术
