电子束蒸发系统 (Thin Film Depostion System)

主要技术指标：电子枪功率3kW，本底真空10E-9Torr，6寸旋转样品托(可液氮冷却)，坩埚5*2.24cc 功能/应用范围：蒸镀各种金属薄膜 主要测试和研究领域：电子/信...

复旦大学物理学系

电子束蒸发镀膜机

主要技术指标：系统的极限压强可达≤5x10-8Torr；30分钟从大气压抽到≤5x10-6Torr;坩埚的数目4个，坩埚的容量不小于7cc;电子枪功率不小于5kW。 功能/应用范围：主要用于...

复旦大学物理学系

感应耦合等离子刻蚀系统

主要技术指标：样品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加热和冷却装置；下电极温度范围-150°C…+400°C；刻蚀气体8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...

复旦大学物理学系

快速纯化工艺系统

仪器用途 蛋白纯化

南京农业大学

感应耦合等离子刻蚀系统

主要技术指标：样品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加热和冷却装置；下电极温度范围-150°C…+400°C；刻蚀气体8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...

复旦大学物理学系