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仪器名称:
电子束蒸发系统 (Thin Film Depostion System)
价格型号:
DE400
仪器分类:
工艺实验设备/电子工艺实验设备
应用领域:
电子元器件
所属单位:
复旦大学物理学系
所在地点:
上海市杨浦区邯郸路220号
产 地:
美国
产 商:
Thermionics Laboratory 公司
价 值:
0
购置日期:
0000-00-00
主要技术指标:
电子枪功率3kW,本底真空10E-9Torr,6寸旋转样品托(可液氮冷却),坩埚5*2.24cc
功能/应用范围:
蒸镀各种金属薄膜
主要测试和研究领域:
电子/信息技术
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