检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：电子束蒸发镀膜机
- 价格型号：LAB18
- 仪器分类：工艺实验设备/电子工艺实验设备
- 应用领域：电子元器件
- 所属单位：复旦大学物理学系
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：美国
- 产 商：Kurt.J.Lesker公司
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：系统的极限压强可达≤5x10-8Torr；30分钟从大气压抽到≤5x10-6Torr;坩埚的数目4个，坩埚的容量不小于7cc;电子枪功率不小于5kW。
功能/应用范围：主要用于微纳器件加工及光学薄膜、电输运性质测量过程中高质量、厚度精确控制的金属及氧化物薄膜的蒸镀。主要蒸镀材料包括：钛、金、镍、银、铝、三氧化二铝、二氧化硅等薄膜等金属单质、氧化物等；并特别考虑对Liftoff工艺的适合性。
主要测试和研究领域：电子/信息技术
