2D轮廓仪
设备具有世界最高水平的高精度,高速度,高分辨率。全面测量物体的表面形状。采用了光栅结合激光干涉的检出器,使机器的分辨率达到0.31nm。结合各类高精密探针(球形尖端探针半径0.002mm、0.00...
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