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  • 电子束蒸发设备

      主要技术指标:1)系统极限真空:经24小时烧烤,连续抽气,可达3*10^-5Pa,系统由大气后开始抽气,40分钟可达3*10^-4Pa;2)系统漏率:停泵关机12小时后真空度=<10Pa;3)样品加热温度:室...

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