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主要技术指标：样品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加热和冷却装置；下电极温度范围-150°C…+400°C；刻蚀气体8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...
上海杨浦区
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主要技术指标：样品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加热和冷却装置；下电极温度范围-150°C…+400°C；刻蚀气体8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...
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