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徕卡EM RES102 多功能离子减薄仪

http://www.testrust.com 来源:天美(中国)科学仪器有限公司 时间:2014-08-21

  Leica EM RES102是TEM和SEM的制样设备,它通过离子枪激发获得离子束,以一定入射角度对样品进行轰击,以去除样品表面原子,从而实现对样品的离子束加工。RES102主要功能为:(1)对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子束穿过,从而适于TEM观察;(2)对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀、样品表面离子清洗、及斜坡切割,从而便于SEM的观察。

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