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扫描电镜发射源的发展

http://www.testrust.com 来源:天美(中国)科学仪器有限公司 时间:2014-02-24

  扫描电镜的性能受到多种因素的影响,如发射源的种类(钨灯丝、场发射)、各级透镜的设计方式(内透镜、外透镜、半内透镜)、各探测器的种类和接收方式(二次电子探测器、背散射电子探测器等)以及电镜结构的优化等等,其中发射源的种类对扫描电镜的性能影响最大。

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