六箱式无尘烘箱
(典型客户:富士写真光机(深圳/天津)有限公司)
一、产品技术参数
型 号 | TM80 | TM100 | TM150 | ||
内部容积 | | | | ||
内部尺寸 | 40×40×50 | 45×45×50 | 50×50×50 | ||
内尺寸表示为:D×W×H 深×宽×高 单位:cm | |||||
功率(KW) | 3.0 | 3.5 | 4.0 | ||
系 统 | PID智能调节或可编程PID自动调节 | ||||
温度范围 | RT+ | ||||
温度偏差 | ± | ||||
波 动 度 | ± | ||||
洁 净 度 | 100级 | ||||
内体材料 | SU304不锈钢板 | ||||
外箱材料 | SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板(喷塑) | ||||
保温材料 | 超细玻璃棉 | ||||
加 热 器 | 镍铬合金电热式加热器 | ||||
循环系统 | 轴流风机 | ||||
控制系统 | 高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器 | ||||
标准配置 | 样品架2层 | ||||
可选配置 | 测试孔(¢ |
二、产品特点:
1、内、外箱材质采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE);
2、全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生PARTICLE;
3、 耐高温,能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#;
4、叠层组合式,减少场地占用面积,效率高。
三、适用范围:
应用:LCD、CMOS、IC制程烘烤。