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磁悬浮涡轮分子泵ATH-M 系列

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    • 阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵 五大防腐特性 自动平衡系统 嵌入式75加热系统 5轴控制 惰性气体吹扫 逆向动力密封(适用于ATH400与ATH1300型) 高流量应用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。 紧凑而现代的设计 可调节转速以优化抽气时的参数 高平均无故障时间 使用成本低 低噪音低振动 无需电池 应用 玻璃镀膜 微处理系统加工 离子束矫正 电子显微镜 空间模拟腔 粒子加速器 半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入) 镀膜与薄镀膜工艺 离子铣 以及许多研发实验
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    孙春梅

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