检测认证人脉交流通讯录
FB7008D型多功能等离子体实验仪(溅射镀膜等离子装置)
- 本装置由本公司与浙江大学共同研制。
镀膜原理为真空溅射离子、电子飞速运动,放电离子飞速轰击机台靶面,溅击大量(银、铜等)介质,原子逐步沉积到基片衬底表面成膜。
实验内容:
●不同金属材料薄膜制备;
●利用空阴极放电制备了CU和Ag涂层研究空阴极对薄膜结构;
●在光学材料上薄膜的制备及特性的测量的影响;
●研究离子轰击对膜性质的影响。
技术参数:
●真空系统:旋片式真空泵,单相220V;
●工作气压:10~200Pa;
●工作电压:0~1500V可调,工作电流0~200mA可测量;
●基台加热控温系统室温200度;
●溅射镀膜钟罩直径140mm,高度150mm;
●基台可升降,可调范围:10~50mm;
●仪器配有镀膜片,另配显微镜、清洗机。