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- New Mega系列膜片阀适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。 该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。 口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理软管·金属膜片系列 适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。该阀采用金属软管结构，具备高气密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。 口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达16.2Mpa 材质：SUS316L EP级处理
