检测认证人脉交流通讯录
- 1.仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室：硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全钟罩：聚碳酸酯 4.重量：18公斤 5.靶：60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金作为标准靶面) 6.样品台直径为60 mm，靶面距离40mm，具有倾斜装置的旋转台 7.真空范围：ATM-1x10-4 mbar 8.沉积电流范围：0-50mA 9.沉积速率：0-25nm/分 10.溅射时间：0-4 分钟 11.预设置针阀：控制氩 12.电源：230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)
