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功能 适用于太阳能电池制程，对太阳能矽晶片之边缘做刻蚀 特点 ．专利设计之特殊等离子电极 ．高密度等离子源 ．处理速度快，产能高，可靠度高 ．操作范围广 ．全自动且容易操作 ．设备稳定度高，容易维护 ．可依客户需求作更改 应用产业 ．太阳能电池 ．太阳能矽晶片边缘做刻蚀
馗鼎奈米科技股份有限公司
梁雅娟
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