检测认证人脉交流通讯录
甲烷
- 用 途:
- 高纯甲烷燃烧用于制造特种质量电子器件用的炭黑。用于非晶硅太阳电池制造。最近用作大规模集成电路干法刻蚀或等离子刻蚀气的辅助添加气。
- Methane甲烷 (CH4)
Vapor Phase Impurities
气相杂质
Contaminants
杂质 Specifications (ppm)
规格
5N 4.5N 4N 3N
C2H6 Ethane乙烷 <1 <15 <25 <600
O2 Oxygen氧气 <2 <5 <10 <50
N2 Nitrogen氮气 <7 <15 <35 <250
H2 Hydrogen氢气 — <5 <10 <50
H2O Moisture水 <2 <5 <15 <50