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参杂混合气

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    • 类型 组分气 稀释气 备注 硼化合物、磷化合物、砷化合物 乙硼烷(B2H6)、三氯化硼(BCl3)、溴化硼(BBr3)磷烷(PH3)、氯化磷(PCl3)、溴化磷(PBr3)砷烷(ASH3)、三氯化砷(ASCl3) 氦、氩、氢氦、氩、氢氦、氩、氢 具有P形性质具有N形性质

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