检测认证人脉交流通讯录
- 膜的种类 混合气组成 生成方法 " 半导体膜 绝缘膜 导体膜" " 硅烷（SiH4）+氢 二氯二氢硅（SiH2Cl2）+氢 氯硅烷（SiCl4）+氢 硅烷（SiH4）+甲烷（CH4） 硅烷（SiH4）+氧 硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3） 硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）+乙硼烷（B2H6） 硅烷（SiH4）+氧化亚氮（N2O）+磷烷（PH3） 六氟化钨（WF6）+氢 六氟化钼（MoCl6）+氢" " CVD CVD CVD 离子注入CVD CVD CVD CVD 离子注入CVD CVD CVD"
