检测认证人脉交流通讯录
氯气
- 用 途:
- 半导体生产中等离子刻蚀铝和其它金属层。氯化多种有机化学品。
- Chlorine 氯气(Cl2)
Total Purity纯度:>99.999%
Vapor Phase Impurities
气相杂质
Contaminants
杂质 Specifications (ppmv)
规格
CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv
CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv
CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv
N2 Nitrogen氮气 <2.0ppmv
O2 Oxygen氧气 <1.0ppmv