检测认证人脉交流通讯录
氯化氢
- 用 途：
- 环境监测系统标准气体成分；准分子激光气成分。化学反应中的催化剂。半导体生产：外延生长之前腐蚀硅片；清洗CVD反应器。
- Chloride氯化氢(HCl)
Total Purity纯度：>99.999%
Vapor Phase Impurities
气相杂质
Contaminants
杂质 Specifications (ppmv)
规格
O2+Ar Oxygen + Argon氧气+氩气 <1.0ppmv
N2 Nitrogen氮气 <2.0ppmv
CO Carbon Monoxide一氧化碳 <1.0ppmv
CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <1.0ppmv
THC Total Hydrocarbon碳氢化合物 <1.0ppmv
H2O Moisture水 <1.0ppmv
Cd Cadmium镉 <0.01ppmw
Ca Calcium钙 <0.01ppmw
Cr Chromium铬 <0.05ppmw
Co Cobalt钴 <0.01ppmw
Cu Copper铜 <0.01ppmw
Pb Lead铅 <0.01ppmw
Fe Iron铁 <0.1ppmw
Mg Magnesium镁 <0.01ppmw
Mn Manganese锰 <0.01ppmw
Ni Nickel镍 <0.05ppmw
K Potassium钾 <0.01ppmw
Na Sodium钠 <0.01ppmw
Zn Zinc锌 <0.01ppmw
