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制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂
项目 指 标 四氟化碳纯度, %(V/V)≥ 99.999 99.995 99.99 氮气含量, ppm(V/V)< 4 20 40 氧气(氩)含量, ppm(V/V)< 1 5 10
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