产品名称:四氟化碳,四氟甲烷
分子式：CF4
分子量：88.01
CAS号：75-73-0
气体纯度:四氟化碳>99.999%,氮气< 5 ppm，氧气< 2 ppm，总烃< 1 ppm，一氧化碳< 1 ppm，二氧化碳< 1 ppm，水< 2 ppm，
气体包装:40L钢瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。阀门型号：CGA660，或CGA580、CGA590。或按客户要求。
四氟化碳性质：在常温下，四氟化碳是无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力：3.74MPa，介电常数：1.0006(25℃,0.5MPa)。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比)，然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳用途：四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，高纯四氟化碳及其高纯气和高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄 膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。