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主要规格：
适用于多种气体的高性能流量计
用 途：
广泛用于扩散炉，多晶炉，真空镀膜等设备。
数字质量流量控制器CMQ-V系列是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。
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陈大松
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