TA300-1 匀胶机Spin Coater
旋涂仪 真空旋转涂层机
产品型号:TA300-1 匀胶机Spin Coater 旋涂仪 真空旋转涂层机
产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,
适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。
可在科研,教育,生产中应用。
TA300-1 匀胶机Spin Coater主要特点:
TA300-1 匀胶机Spin Coater旋涂仪真空旋转涂层机:
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪
每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 液晶显示屏可以实时显示:
1.第N个涂敷工艺过程
2.所处工作段
3.真空吸片状态。
4.设置时间;及实时运行时间。
5.设置速度;及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话,简洁,明了。
TA300-1 匀胶机Spin Coater 旋涂仪 真空旋转涂层机:
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪
电机转速精度更高:
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
最高转速10000转/分
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 NPP材质工作腔,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 能精确滴定一种胶体。
工作腔直径315mm。可以旋涂最大基片直径250mm圆片或 200mm*200mm方片 。
TA300-1 匀胶机Spin Coater技术指标:
1 自动定时 :可设定 :0.01—1S 0.1—10 S 0.2—20S 0.3—30S
2 重复准确度 :± 0.5 %
7最小注滴量 :0.01ml
NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。
TA300-1 匀胶机Spin Coater技术参数:
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 单相交流电源:220V.50Hz
TA300-1高精度匀胶机旋涂仪 电机功率:150W
TA300-1标准配置旋转真空吸盘直径:(62mm,标准配置)
转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
可选配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3. 全自动滴胶机一台
无油真空泵特点 :无需任何润滑油,可长时间连续使用,采用单项电源。
技术参数极限真空:-0.098MPa 抽气效率:60(L/min) 功率:0.45(kw) 电压:220V/50Hz(Hz/v)