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三维XP-611.XYZ纳米级精密定位平移台
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XP-611.XYZ纳米级精密定位平移台,是以压电陶瓷为驱动源的多轴纳米定位系统。X、Y、Z三轴均可实现100μm的定位扫描范围,台体的结构紧凑,无摩擦、柔性铰链导向系统使得三维平台具有超高的分辨率和毫秒的响应时间。开环与闭环两种形式可供选择
紧凑的外形结构
开/闭环可供选择
内置高性能压电陶瓷
快速扫描与定位应用:扫描系统
机械工程、精密仪器制造
光纤定位、激光光学
微操作、光纤调整与光电子
光学应用
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