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柔性铰链导向无摩擦, 超直线运动 行程范围高达 100 μm 分辨率可达 0. 1nm 高动态与高刚度 更大的行程及更快响应时间可定制 超长的使用寿命 可选择开环及闭环 精密定位、光学,医疗、生物科技等应用 柔性铰链导向，杠杆放大的XP601 Z向致动器，尺寸小，实现垂直位移100μm，快速响应时间及高定位精度，稳定时间仅需要几毫秒的时间，适合动态与静态的应用。
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