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XP-853压电驱动测微头
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XP-853是将微米千分尺与高分辨率压电致动器结合的压电驱动微米千分尺，通过手动调节大范围的微米尺，行程范围为13mm, 微米尺的分辨率是1μm，再通过控制驱动电压使压电陶瓷相应伸长，缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷进行高精度的细调节，行程范围可达25μm, 压电陶瓷运动的分辨率可达亚纳米量级，这个压电微米千分尺可以对元件的进行远距离精密定位。
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