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XP-780.X/XP-780.Z纳米级精密定位平移台
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XP-780.X、XP-780.Z系列微动台是一维大行程纳米定位工作台,机构采用
放大式结构,内部使用高精度压电陶瓷做驱动,精确定位并通过柔性铰链连接
支撑传动,实现工作台面做一维微纳米的微小移动,行程可达200μm,该系列
微动台可以组合成二维、三维的微动台产品,也可以与不同型号与系列的微动
台组合成二维、三维、四维、五维等微动台产品。
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