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xp-541/546纳米级精密定位/俯仰/偏转/扫描台
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XP-541型号微动台是由压电陶瓷作驱动,通过柔性铰链作导向,使台面实现精确定位,台体结构紧凑,中空设计,满足光学系统应用。 XP-546是采用放大式结构的大摆角摆台兼大行程Z向升降台,结构设计独特、紧凑,由压电陶瓷做驱动性能稳定。通过柔性铰链做导向,使台面实现精确定位。
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