检测认证人脉交流通讯录
- 型号 XN-810 结构形式 六杆并联式（hexapod） 驱动方式 压电陶瓷驱动 运动自由度 X,Y,Z,θX,θY,θZ 负载能力 5kg 位移分辨率 ±2nm 线性度 0.5%F.S 直线定位精度 ±20nm 旋转定位精度 ±0.6μrad 固有频率±20% 1250Hz 刚度 75N/μm X轴行程范围 ±18μm Y轴行程范围 ±18μm Z轴行程范围 ±9μm θX行程范围 ±0.4mrad θY行程范围 ±0.4mrad θZ行程范围 ±0.6mrad 重量 1320g 操作方式 开/闭环控制 控制器 XE-500/501模块化控制器
