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- 手套箱专用离子溅射仪自动化程序控制，一键式操作，让镀膜更加高效。该设备采用触摸控制，外置泵组设计，采用平面磁控溅射靶设计，从而使试样在热效应最小的条件下得到最有效的溅射效果，常用于锂电池电极防氧化研究中。
手套箱专用离子溅射仪的操作方式一般如下：
前期准备
设备检查：确保离子溅射仪的外观无损坏，各连接线正常。打开电源开关后，查看设备的显示屏、指示灯等是否正常亮起，有无故障提示。
样品准备：将要进行溅射的样品放入手套箱内，注意样品的放置位置要便于操作和观察。对于一些特殊形状或尺寸的样品，可能需要使用专门的样品夹具或托盘来固定。
手套箱环境准备：检查手套箱内的气体环境是否符合要求，如是否充满了惰性气体等。同时，确保手套箱内的温度、湿度等环境参数在合适的范围内，以保证离子溅射过程的稳定性和样品的质量。
操作流程
开启设备：通过手套箱上的操作窗口或控制面板，打开离子溅射仪的电源开关，启动设备。此时，设备可能会进行自检程序，等待自检完成后，进入下一步操作。
选择溅射模式：根据实验需求，选择合适的溅射模式，如直流溅射、射频溅射等。不同的溅射模式适用于不同类型的材料和应用场景。例如，金属靶材通常采用直流溅射模式，而绝缘材料则更适合射频溅射模式。
安装靶材：将所需的靶材安装在离子溅射仪的相应位置上。安装时要注意靶材的安装方向和紧固程度，确保靶材与设备之间的良好电接触。有些离子溅射仪配备了可更换的靶材座，方便用户根据不同的实验需求更换不同种类的靶材。
设置参数：根据样品的要求和实验目的，设置离子溅射的相关参数，如溅射时间、溅射电流、工作电压等。这些参数会直接影响到溅射薄膜的厚度、质量和均匀性等性能指标。一般来说，较长的溅射时间和较大的溅射电流可以获得较厚的薄膜，但过高的工作电压可能会导致薄膜出现缺陷或损坏。
开始溅射：确认参数设置无误后，按下 “Start” 或 “Run” 等按钮，启动离子溅射过程。在溅射过程中，可以通过观察窗或显示屏实时监测溅射的状态，如溅射电流、真空度等参数的变化情况。
结束溅射：当达到预设的溅射时间或其他结束条件时，离子溅射仪会自动停止溅射。也可以手动按下 “Stop” 或 “Pause” 等按钮来中断溅射过程。结束后，先关闭离子溅射仪的电源开关，然后等待设备冷却一段时间，再进行后续的样品取出和处理操作。
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