检测认证人脉交流通讯录
- 一、探针式轮廓仪/台阶仪产品参数：
1.测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量
2.样品视景：可选放大倍率，1to4mmFOV
3.探针压力：使用LIS3传感器1至15mg
4.低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器:0.03至15mg
5.探针曲率半径可选范围:50nm至25um
6.高径比(HAR)针尖:10umx2um和200umx20um可按客户要求定制针尖
7.样品X/Y载物台：
手动X-Y平移：100mm(4英寸）
机动X-Y平移：150mm(6英寸)
8.样品旋转台：手动，360°旋转机动，360°旋转
9.扫描长度范围：55mm(2英寸)
二、探针式轮廓仪/台阶仪技术优势：
1.每次扫描数据点：最多可达120.000数据点
2.最大样品厚度：50mm(2英寸)
3.最大晶圆尺寸：200mm(8英寸)
4台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上
5.垂直范围：1mm(0.039英寸)
6.垂直分辨率：最大1A(6.55um垂直范围下)
台阶仪如有需要欢迎访问以下网址与我们取得联系
http://www.vector-tek.cn/Products-37700020.html
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