Sensofar平面度测量白光干涉仪 S neox 0.65X,以优秀的横向和纵向分辨率测量平面度。S neox搭配0.65X物镜,具有最大视野的物镜和最高精度的载物台,在平面度、平行度和台阶高度测量方面提供了最佳的表现。
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