检测认证人脉交流通讯录
LASERTEC 光刻工艺检测装置 LX330
- 主要规格：
- 独自の光学系による高感度CD測定実現 高速撮像のためウェハ全面測定が可能 下地パターンの影響をキャンセルできる独自の光学系 業界初のCDU検査・分類機能搭載
- 用 途：
- リソグラフィ工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理 エッチング工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理 ウェハ外周部CDのSPC管理
- 特長
独自の光学系による高感度CD測定実現
高速撮像のためウェハ全面測定が可能
下地パターンの影響をキャンセルできる独自の光学系
業界初のCDU検査・分類機能搭載
用途
リソグラフィ工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
エッチング工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
ウェハ外周部CDのSPC管理
深圳京都玉崎株式会社
- 地址：
- 江苏苏州市高新区竹园路7号中梁香缇商务广场2栋1201室
