矽翔微机电系统有限公司专门为医疗设备应用而设计、制造的MEMS系列流量传感器产品，具有双向、大流量、直接测量等功能。全密封设计可用液体医用消毒液进行浸泡消毒，适用于呼吸机、麻醉设备、肺活量仪、肺功能仪、氧气机及其他气体测量相关设备。

　　FS1000系列 适用呼吸机/麻醉机。传感器可测量最大流量为200SLPM，最小流量达到0.05SLPM可用于婴幼儿及新生儿的呼吸监测。传感器有22mm和15mm两种标准医用接口规格。

　　FS2000系列 为呼吸机/麻醉机适用。这是世界上第一个大流量、直接双向测量的传感器，可测量120SLPM的流量。它还能进行0到±20SLPM/±120SLPM的量程转换。它适用于小儿、新生儿及成人呼吸机高端产品。

　　FS3000系列 专门为肺活量仪及肺功能仪适用。传感器可测量最大流量为1200 SLPM。传感器的响应速度比现有所有应用于肺功能仪的其它技术都要快很多。这使得通过精确监测呼吸流量变化，从而准确检验、诊断人体呼吸系统的疾病成为可能。