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三氟化氮NF3气体

  • 这真不是您需要的产品?
  • 品  牌:
  • 粤佳气体
  • 主要规格:
  • 40L
  • 用  途:
  • 蚀刻气体
    • 广州粤佳气体公司常年供应高质量三氟化氮气体,欢迎各界前来与三氟化氮生产厂家洽谈最新市场价格!我司三氟化氮全球服务专线(13711176807)! 三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用
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