微纳结构分类：

1. DOE通常采用微纳刻蚀工艺(现在一般使用其中的纳米压印技术)构成二维分布的衍射单元，每个衍射单元可以有特定的形貌、折射率等。
2. 超透镜、超表面。
3. 衍射光栅(线性、棋盘、闪耀、倾斜、全息),衍射光栅的母版分为两种类型：刻划光栅(直纹光栅)和全息光栅。
4. 微透镜阵列：微透镜阵列是由通光孔径及浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列。

自由曲面镜片：

想要了解自由曲面，我们先要了解传统的镜片生产方式，传统的镜片生产方式是模具生产。

自由曲面镜片区别于传统的模具生产镜片，它是车床点对点在镜片基材上进行打磨加工的，简言之，一个是批量生产，一个是定制生产，仅此而已。

另自由曲面初始结构可以从球面或非球面逐步逼近而来，或通过光线追迹得到点云再进行曲面拟合。

微纳自由曲镜片经过抛光与蚀刻后的清洗问题：

在抛光期间，每个镜片的表面都会被抛光，而光学性能则保持不变。完美的表面对于后续的镀膜工序非常重要。

使用不同的清洁剂和超纯水来清除镜片上的残留物并准备进行镀膜。

VGT-1107FS是深圳威固特公司制作的一台光学玻璃超声波清洗机，此清洗设备共有11个功能槽，有循环过滤系统、浸泡系统、自动恒温系统、溢流系统、抛动系统、超声波清洗系统、慢拉脱水系统、热风烘干系统等。其中清洗部分与慢拉及热风干燥部份分别独立电器控制，设备底部设有接水盘，接水盘的水通过管道排入下水道，设备采用水溶剂洗涤、纯水漂洗、慢拉脱水、热风烘干等工艺，为环保型清洗机。

清洗过程中工件通过超声波高频产生的“气化现象”的冲击和系统自身不停地作上下运动，增加了液体的摩擦，从而使工件表面的污垢能够迅速脱落，实现其高清洁度的目的。

威固特VGT-1107FS光学玻璃超声波清洗机节约、环保：

1. 由隔板分成两腔，分油后的清洁溶液经循环泵重新抽入清洗槽，实现自我循环，提高溶液的利用率，而分离后的油排放到总排管；
2. 设市水进口，可分别接至各洗槽及储液箱；
3. 配冷却水管，由清洗槽内温度感应器通过电磁阀控制加水；
4. 配不锈钢加热管，功率 4.5KW；
5. 设下限液位开关，水位低时自动声光报警，报警器串联；
6. 储液槽底部设排液阀，与清洗槽串联同时排入总排管；
7. 泵前加可拆卸式过滤筛网，泵后安装过滤器；
8. 过滤器前装水压力表一只，提示需要更换或清洗过滤器。

威固特VGT-1107FS光学玻璃超声波清洗机慢拉提升机构原理：

高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点，最后都将导致镀膜失败。高纯水高温慢拉脱水是玻璃产品高精度清洗必不可少的工序，有效的形成均匀的热纯水膜，迅速散失表面水份，实现表面高洁净度的目的，为后续干燥奠定有利基础。

威固特VGT-1107FS光学玻璃超声波清洗机顶部配置FFU：

在烘干槽顶部加设FFU系统，有效减少环境对洗净效果的影响，工件加温后，对灰尘的附着力增强，FFU形成负压可有效减少环境对洗净效果的影响，从而从根本上提高产品的合格率。

威固特VGT-1107FS光学玻璃超声波清洗机电器控制：

控制柜：位于第一槽左侧，内装超声波发生系统、继电器、空气开关、变压器等主控电器控制电路。

控制面板：

1. 位于电器控制柜前部，便于操作；
2. 集中安装电源开关、工作状态指示灯、加热开关、温度显示器、时间控制器、报警蜂鸣器等。

超声波发生器：

1. 各槽超声波分别置于对应槽上部，便于操作；
2. 每槽超声波发生器皆设单槽超声波定时功能。