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  • X射线光电子能谱仪(XPS) 俄歇电子能谱仪(AES) X射线光电子能谱利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。XPS和AES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析,测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。 测试范围与服务项目:各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析等。 扫描电子显微镜(SEM) X射线能谱仪(EDS) 扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,最大放大倍数可达30万倍,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析。 测试范围与服务项目:各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测,样品成分的线分布和面分布分析。

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