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成分 纯氮 高纯氮气 超纯氮气 单位
氮气 ≥ 99.99% 99.999% 99.9999% %V
氢气 ≤ 15 1 0.1 ppmv
氧气 ≤ 50 3 0.2 ppmv
一氧化碳 ≤ 5 1 0.1 ppmv
二氧化碳 ≤ 10 1 0.1 ppmv
总碳 ≤ 5 1 0.1 ppmv
水份 ≤ 15 3 0.2 ppmv
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