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氩气是目前工业上应用很广的稀有气体它的性质十分不活泼，既不能燃烧，也不助燃在飞机制造造船原子能工业和机械工业部门，对特殊金属，例如铝镁铜及其合金和不锈钢在焊接时，往往用氩作为焊接保护气，防止焊接件被空气氧化或氮化氩气主要用途：用于焊接不锈钢制造冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积晶体生长热氧化外延扩散多晶硅钨化离子注入载流烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气