设备名称：原子力扫描探针显微镜

主要性能指标：

最大扫描尺寸：90µm x 90µm x 10µm

FastScan 扫描尺寸：35µm x 35µm x 3µm

最大扫描速度：125Hz

温度范围：-35°C至 250°C

弹性模量范围： 1 MPa~100 GPa

粘附力范围： 10 pN~10uN

表面电势：±10V，精度10mV

主要工作模式：

Contact mode（接触模式）

Tapping mode（轻敲模式）

LFM（横向力显微镜）

EFM（静电力模式）/surface potential(表面电势)

PR-mode(压电响应模式)

MFM（磁力显微镜模式）/TR-MFM（横向磁力显微镜模式）

ScanAsyst（智能成像模式）

Peak force QNM(定量纳米力学性能测试模式) /Peakforce TUNA(峰值力隧道电流显微镜)

Torsion resonance mode(扭转共振模式)

Force curve（力曲线模式）/Force volume（力曲线阵列模式）

Liquid imaging（液态成像模式）

特色及用途：

除了配备常规的智能成像模式，接触模式，轻敲模式，横向力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜等模块外，还配备了定量纳米力学性能测试模式，峰值力隧道电流显微镜, 导电原子力显微镜等，极大拓宽了材料测试领域和系统分析功能。特别是配备最新的快速扫描模块，极大缩短样品扫描时间，提高了测试效率。本套设备的主要功能及特点如下：

1.三维形貌观察：通过轻敲/接触模式对软硬程度不同的样品进行微纳米尺度三维形貌观察；

2.表面电势及静电力分布测量：通过静电力显微镜(EFM)以及开尔文探针显微镜(KFM)进行观察，测量材料表面的电势及静电力分布；

3.样品的导电性测量：通过峰值力隧道电流显微镜和导电原子力显微镜测量样品的电学性能；

4.纳米力学测试：通过(Peak force QNM)以及力曲线模块(Force volume) 测量微纳米尺度下材料的力学性能，包括弹性模量，粘附力等；

5. 铁电/压电材料表征：通过压电力显微镜(PFM)对铁电/压电材料的电畴分布及电滞回线进行测量。

6. 快速扫描成像：通过FastScan模块对样品的形貌，电势，静电力等进行快速扫描成像；

应用领域：广泛应用于材料科学、物理、化学、生物研究领域。

如需原子力扫描探针显微镜检测服务，请随时联系BRI必锐检测的工程师，0592-6254242.