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扫描电子显微镜/X射线能谱仪(SEM/EDS)
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对应法规:GB
CNAS认可项目:是
扫描电子显微镜/X射线能谱仪(SEM/EDS)是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。SEM/EDS正是根据上述不同信息产生的机理,对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息,对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。 主要特点: 1.样品制备简单,测试周期短; 2.景深大,有很强的立体感,适于观察像断口那样的粗糙表面; 3.可进行材料表面组织的定性、半定量分析; 4.既保证高电压下的高分辨率,也可提供低电压下高质量的图像;
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