主要技术指标:真空室尺寸:离子束室为φ500×450,溅射室为φ560×300,进样室为φ250×400极限真空:离子束室为6.6×10-6Pa,溅射室为6.6×10-6Pa,进样室为6.6×10-4Pa。
主要附件及功能:功能及应用范围:可用于开发纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等。仪器主要附件:计算机控制软件。
主要测试研究领域:农产品和食品,生态环境,材料
仪器联系人:熊祖洪
电话:023-68367528
开放机时安排:工作日
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