主要技术指标:高度精度为0.2nm,测试面积为20*20mm和100*100mm(分属两种样品台),测试高度差为15mm以内
主要测试研究领域:材料,其它
仪器联系人:李晖
电话:13808096092
电子邮件:lihai@scu.edu.cn
开放机时安排:星期一至星期五
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