上海大学实验设备处

联系人：周彪(13701876717)

仪器简介：

　　BOC Edwards是全球最大的真空获得设备制造商。其制造的TY3322751型高真空系统具有如下特性：

　　1.使用前级泵＋分子泵组合的高真空系统：前级泵选择了油封旋片泵；该油泵具有单向阀及前级过滤器，并且在旋片泵和分子泵间加装了截止阀来确保没有返油的发生。

　　2. 70L/s的分子泵并配置了相应的旋片泵。

　　3.为尽快达到高真空，在分子泵上使用了加热带。

　　4.为了在分子泵停机后尽快稳定，增加了可控放气阀。

　　5.安装了油雾过滤器以防止油泵对室内环境的污染。

　　6.使用高低真空规各一个来检测真空度，其测量范围可从大气压至10-7 Par。

主要技术指标：

　　重量：净重51Kg，毛重约65Kg；

　　外型尺寸：500mm(长)×500mm(宽)×422mm(高)

　　总功率：< 1Kw

　　旋片泵：实际抽速(50Hz)>3.3M3/Hr

　　极限真空：2E10-3mBar

　　分子泵：压缩比(N2)>1E108

　　实际抽速(N2)：65L/s

　　最大转速：90,000rpm

　　系统极限真空：<＝5E10-7 mBar：

应用范围：

　　适用于需要高真空的测试环境