上海大学实验设备处

　　联系人：梁雪(18964542931)

　　仪器简介：

　　仪器配备以下主要附件：

　　1.新一代Elstar极靴内探测器(TLD)

　　2. ETD二次电子探测器

　　3. Omniprobe AutoProbe 200.2机械手

　　4.铂沉积气体注入系统

　　5.内置式等离子清洗系统

　　6.英国OXFORD公司INCA MX80-EDS

　　主要技术指标：

　　1.电子束系统分辨率：0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv)

　　2.离子束系统分辨率：在束交叉点：4.5nm@30kV(统计测量法)

　　在束交叉点：2.5nm@30kV(单边测量法)

　　3.电子束加速电压：350V-30kV

　　4.离子束加速电压：0.5-30kV

　　5.电子束流：≤22nA

　　6.离子束流：1pA–65nA

　　应用范围：

　　纳米级加工及观测研究。